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Photomask fabrication technology

  • Eynon
  • Editorial McGraw-Hill
  • 624 páginas
  • ISBN: 0071445633 ISBN-13: 9780071445634
  • 1 edición (25/10/2007)
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Photomasks, the printing masters for the fabrication of integrated circuits, have become a necessity of modern semiconductor manufacturing. This book details the science and technology of industrial photo mask production, including fundamental principles, industrial production flows, and technological evolution.


 
 

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